i-线光刻级氟化钙晶体元件

【适用范围】 本文件规定了i-线光刻级氟化钙晶体元件（以下简称元件）的术语和定义、技术要求、检验方法、检验规则、包装、运输及贮存。 本文件适用于i-线光刻级氟化钙晶体元件以及相应产品也可参考使用。 【主要技术内容】 本文件规定了i-线光刻级氟化钙晶体元件（以下简称元件）的术语和定义、技术要求、检验方法、检验规则、包装、运输及贮存。 本文件适用于i-线光刻级氟化钙晶体元件以及相应产品也可参考使用。