光刻机用氧化铝陶瓷导轨

【主要技术内容】 外观质量，尺寸及形位公差，表面粗糙度，氧化铝含量， 体积密度，维氏硬度， 常温弯曲强度，弹性模量，平均线热膨胀系数等。