半导体用多级罗茨干式真空泵

【主要技术内容】 本文件规定了半导体用多级罗茨干式真空泵的型式、型号与基本参数、技术要求、测量方法、抽样及判定方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于半导体用多级罗茨干式真空泵（以下简称“泵”）。