团簇离子束超精密抛光设备通用技术规范

【适用范围】 本文件适用于利用团簇离子束技术对材料表面进行超精密抛光的设备（以下简称“设备”）的制造、检验和验收。 【主要技术内容】 本文件规定了团簇离子束超精密抛光设备的设备组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存、设备交付文件。