标准摘要
【适用范围】 本文件规定了激光精密加工设备的产品类别、特性要求、安全通用要求、检测方法、标记和文件。 本文件适用于激光精密加工设备，包括配套使用的相关激光器。 【主要技术内容】 项目 单位 要求 光斑直径 百分比 偏差在标称值±10%之内 光斑圆度 百分比 >标称值 发散角 毫弧度mrad <2.0mrad(Full Angle) 光束指向稳定性 每分钟或每摄氏度（Per Minute/ Per ℃ ） <50.0urad 光束质量M2 百分比 偏差在标称值±10%之内 脉冲能量非稳定度 均方差rms <2% 脉宽 百分比 在标称值50%-100%之间 偏振比 激光通过率的比值 >100:1 平均功率稳定性 均方差rms <2%
英文名称Checking Standards for Laser Micromachining Equipment