标准摘要
【适用范围】 本文件描述了薄膜压力传感器(以下简称“传感器”)压力-电信号标定试验的术语和定义、试验原理、试验条件、试验装置、试验步骤、数据处理和试验报告。 本文件适用于薄膜压力传感器的压力-电信号标定的试验。 【主要技术内容】 本标准引入梯度加载测试方法和连续加载测试方法以适配不同的标定试验场景,对薄膜压力传感器标定试验方法原理、试验装置及相关工装、试验加载和数据测量过程、数据处理方法等进行描述,旨在提升薄膜压力传感器标定试验的实操性和严谨性,保障标定试验结果的准确性,为薄膜压力传感器后续相关性能检测、性能优化以及多领域的集成应用开发提供有效依据。