等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟

【主要技术内容】 本文件规定了光伏领域管式等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟（简称石墨舟）的术语和定义、结构和分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本文件适用于等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）用石墨舟。