碳化硅衬底激光剥离设备

【主要技术内容】 本文件规定了碳化硅衬底激光剥离设备的术语和定义、工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和贮存。 本文件适用于碳化硅衬底激光剥离设备的生产和检验。