铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备

【主要技术内容】 本文件规定了铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备(以下简称“设备”）的术语和定义、结构与使用环境、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。 本文件适用于铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备的生产及检验。