硅舟

【主要技术内容】 本文件规定了硅舟的产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存以及质量承诺。 本文件适用于硅单晶、硅多晶加工成的应用于氧化、扩散、退火及化学气相沉积（CVD）工艺直径150 mm～350 mm的拼接式、熔接式硅舟。