YS/T 1164-2016 现行

硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法

标准摘要

行业标准《硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定电感耦合等离子体发射光谱法》，主管部门为工业和信息化部。