硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

行业标准《硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法》由全国有色金属标准化中心归口上报，主管部门为工业和信息化部。