电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南

行业标准《电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。