标准摘要
国家标准《砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)、全国有色金属标准化技术委员会联合归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。
英文名称Gallium arsenide epitaxial layer - determination of carrier concentration voltage-capacitance method