标准摘要 国家标准《液封直拉法砷化镓单晶及切割片》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)、全国有色金属标准化技术委员会联合归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 展开完整摘要 英文名称Liquid encapsulated czochralski - grown gallium arsenide single crystals and as-cut slices