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GB/T 47901-2026
激光器外延芯片用砷化镓衬底
即将实施
GB/T 47404-2026
碳化硅单晶
即将实施
GB/T 35305-2026
太阳能电池用砷化镓单晶及抛光片
即将实施
GB/T 47097-2026
氮化铝单晶抛光片
即将实施
YS/T 1828-2025
半导体材料掺杂用扩散膜
现行
GB/T 30858-2025
蓝宝石单晶衬底抛光片
现行
YS/T 1741-2025
硅多晶还原炉用氮化硅制品
现行
YS/T 1744-2025
半绝缘砷化镓单晶衬底片
现行
GB/T 43885-2024
碳化硅外延片
现行
YS/T 1653-2023
氮化镓衬底片
现行
YS/T 1655-2023
化学气相沉积硫化锌晶体
现行
GB/T 30652-2023
硅外延用三氯氢硅
现行
GB/T 30656-2023
碳化硅单晶抛光片
现行
GB/T 31092-2022
蓝宝石单晶晶棒
现行
GB/T 20229-2022
磷化镓单晶
现行
GB/T 20230-2022
磷化铟单晶
现行
GB/T 20228-2021
砷化镓单晶
现行
GB/T 11094-2020
水平法砷化镓单晶及切割片
现行
GB/T 37053-2018
氮化镓外延片及衬底片通用规范
现行
GB/T 36706-2018
磷化铟多晶
现行