标准摘要 国家标准《激光器外延芯片用砷化镓衬底》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 展开完整摘要 英文名称Gallium arsenide substrates for laser epitaxial chips