标准摘要
国家标准《掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
英文名称Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped, phosphorus-doped, and arsenic-doped silicon