硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

国家标准《硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。