掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

国家标准《掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行 ，主管部门为国家标准委。