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GB/T 44631-2024
晶片承载器传输并行接口要求
现行
GB/T 44375-2024
300mm半导体设备装载端口要求
现行
GB/T 37947.4-2024
信息技术 用能单位能耗在线监测系统 第4部分：能源品种采集
现行
GB/T 43972-2024
集成电路封装设备远程运维 状态监测
现行
GB/T 43725-2024
直写成像式曝光设备
现行
GB/T 43796-2024
集成电路封装设备远程运维 数据采集
现行
GB/T 15862-2012
离子注入机通用规范
现行
GB/T 15861-2012
离子束蚀刻机通用规范
现行
GB/T 16878-1997
用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
现行
GB/T 16879-1997
掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
现行
GB/T 15861-1995
离子束蚀刻机通用技术条件
废止
GB/T 15862-1995
离子注入机通用技术条件
废止
GB/T 15872-1995
半导体设备电源接口
废止
GB/T 15870-1995
硬面光掩模用铬薄膜
现行
GB/T 15871-1995
硬面光掩模基板
现行
GB/T 15873-1995
半导体设施接口技术文件编写导则
现行
GB/T 15394-1994
多探针测试台通用技术条件
现行
GB/T 14276-1993
绕接工具总规范
废止
GB/T 13840-1992
晶片承载器
废止