标准摘要 国家标准《硅片局部平整度非接触式标准测试方法》 由339-1（工业和信息化部（电子））归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。 展开完整摘要 英文名称Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning