标准摘要
国家标准《热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
英文名称Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography