低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法

国家标准《低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。