酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质

国家标准《酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。