标准摘要
国家标准《化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
英文名称Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method