硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法

国家标准《硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。