标准摘要
国家标准《硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
英文名称Determination of impurity content in trichlorosilane for silicon epitaxy—Inductively coupled plasma mass spectrometry