硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

国家标准《硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。