微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。