硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

国家标准《硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。