用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程

国家标准《用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。