氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法

国家标准《氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。