半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法

国家标准《半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法》 由TC599（全国集成电路标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。