半导体器件 微电子机械器件 第3部分：拉伸试验用薄膜标准试验片

国家标准《半导体器件 微电子机械器件 第3部分：拉伸试验用薄膜标准试验片》 由TC599（全国集成电路标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。