半导体器件 微电子机械器件 第7部分：用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器

国家标准《半导体器件 微电子机械器件 第7部分：用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器》 由TC599（全国集成电路标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。