标准摘要
国家标准《氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
英文名称Determination of iron, aluminum and calcium of silicon nitride powder—Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry