微机电系统（MEMS）技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）、全国集成电路标准化技术委员会联合归口 ，主管部门为国家标准委。