微机电系统（MEMS）技术 车规级MEMS半导体气体传感器技术规范

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 车规级MEMS半导体气体传感器技术规范》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。