SJ/T 11829.1-2022 现行

晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1部分：管式PECVD设备

标准摘要

行业标准《晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1部分：管式PECVD设备》，主管部门为工业和信息化部。