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SJ/T 11183-2022
旋转式涂覆设备通用规范
现行
SJ/T 11823-2022
集成电路塑封油压机
现行
SJ/T 11830-2022
晶体硅光伏电池智能制造 数据采集指南
现行
SJ/T 11829.2-2022
晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备 第2部分:板式PECVD设备
现行
SJ/T 11829.1-2022
晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备 第1部分:管式PECVD设备
现行
SJ/T 11781-2021
推板式氢气炉能源消耗规范
现行
SJ/T 11780-2021
推板式电子陶瓷隧道窑能源消耗规范
现行
SJ/T 11761-2020
200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
现行
SJ/T 11762-2020
半导体设备制造信息标识要求
现行
SJ/T 11763-2020
半导体制造设备人机界面规范
现行
SJ/T 10479-2016
自动砂轮划片机
现行
SJ/T 11566-2016
集成电路自动冲切成型设备
现行
SJ/T 11576-2016
喷雾式涂覆设备通用规范
现行
SJ/T 31028-2016
数控电火花成型机完好要求和检查评定方法
现行
SJ/T 31001-2016
设备完好要求和检查评定方法编写导则
现行
SJ/T 31002-2016
企业设备维护保养通则
现行
SJ/T 31025-2016
数控坐标磨床完好要求和检查评定方法
现行
SJ/T 31024-2016
数控车床完好要求和检查评定方法
现行
SJ/T 31027-2016
数控铣床、数控加工中心完好要求和检查评定方法
现行
SJ/T 31026-2016
数控平面磨床完好要求和检查评定方法
现行