硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法

行业标准《硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。