微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。