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GB/T 47752-2026
微机电系统(MEMS)技术 柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法
即将实施
GB/T 47767-2026
微机电系统(MEMS)技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法
即将实施
GB/T 47719-2026
微机电系统(MEMS)技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法
即将实施
GB/T 47562-2026
微机电系统(MEMS)技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片
即将实施
GB/T 44919-2024
微机电系统(MEMS)技术 薄膜力学性能的鼓胀试验方法
现行
GB/T 44839-2024
微机电系统(MEMS)技术 MEMS材料微柱压缩试验方法
现行
GB/T 44842-2024
微机电系统(MEMS)技术 薄膜材料的弯曲试验方法
现行
GB/T 44849-2024
微机电系统(MEMS)技术 金属膜材料成形极限测量方法
现行
GB/T 44531-2024
微机电系统(MEMS)技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范
现行
GB/T 44513-2024
微机电系统(MEMS)技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法
现行
GB/T 44515-2024
微机电系统(MEMS)技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法
现行
GB/T 44514-2024
微机电系统(MEMS)技术 层状MEMS材料界面黏附能四点弯曲试验方法
现行
GB/T 44517-2024
微机电系统(MEMS)技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法
现行
GB/T 44529-2024
微机电系统(MEMS)技术 射频MEMS环行器和隔离器
现行
GB/T 42895-2023
微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
现行
GB/T 42896-2023
微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
现行
GB/T 42897-2023
微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
现行
GB/T 26111-2023
微机电系统(MEMS)技术 术语
现行
GB/T 42191-2023
MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法
现行
GB/T 42597-2023
微机电系统(MEMS)技术 陀螺仪
现行