微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。