标准摘要 国家标准《微机电系统(MEMS)技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范》 由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 展开完整摘要 英文名称Micro-electromechanical systems(MEMS)technology—Technical specification of automotive grade pressure sensor based on MEMS technology