微机电系统（MEMS）技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）、全国集成电路标准化技术委员会联合归口 ，主管部门为国家标准委。