标准摘要
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。
英文名称Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films