微机电系统（MEMS）技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）、全国集成电路标准化技术委员会联合归口 ，主管部门为国家标准委。