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GB/T 41213-2021
集成电路用全自动装片机
现行
GB/T 40577-2021
集成电路制造设备术语
现行
GB/T 37466-2019
氮化镓激光剥离设备
现行
GB/T 36646-2018
制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
现行
SN/T 3480.4-2016
进口电子电工行业成套设备检验技术要求 第4部分:半导体封装测试设备
现行
SJ/T 10479-2016
自动砂轮划片机
现行
SJ/T 11566-2016
集成电路自动冲切成型设备
现行
SJ/T 11576-2016
喷雾式涂覆设备通用规范
现行
GB/T 30116-2013
半导体生产设施电磁兼容性要求
现行
GB/T 29845-2013
半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则
现行
SB/T 10740-2012
商用吸尘吸水机技术规范
现行
GB/T 16524-1996
光掩模对准标记规范
现行
GB/T 16528-1996
压敏电阻器用氧化锌陶瓷材料
现行